Установки серии NXQ8000 представляют собой промышленные системы для совмещения и экспонирования с возможностью инспекции ранее совмещенных слоев. Современные высокотехнологичные средства автоматизации для данной серии установок были разработаны компанией Milara (роботы).
Двузахватный робот интегрированный в установку NXQ8012 обеспечивает быстрое и точное перемещение пластин, в два раза быстрее и точнее конкурентов. Данный робот имеет станцию предсовмещения от Logosol которая может определять прозрачные подложки, что позволяет использовать установку совмещения не только для кремния но и для большого количества других полупроводниковых материалов. Роботизированная система перемещения пластин обеспечивает быстроту перемещения и позиционирования машин.
Универсальность данных установок делает их идеальным выбором для различных заказчиков от научно-исследовательских центров до крупных производств, позволяет обрабатывать от мелких кусочков пластин до цельных пластин диаметром до 200 мм.
Отличительные особенности:
- Максимальные размеры пластин до 200 мм
- Система автозагрузки
- Двойной робот Milara
- Устройство предсовмещения
- QuadCam микроскоп – 2 HD камеры на один монитор
- Защитный кожух
- Графический пользовательский интерфейс на базе Windows
- Модульный дизайн корпуса УФ оптики, простая смена типа оптики
- Полностью автоматическое совмещение. Управление с помощью джойстика или клавиатуры
- Моторизованные верхние и нижние микроскопы с контролем перемещения
- Сквозная LED подсветка через объектив с контролем интенсивности
- Простая ручная загрузка пластин (в .т.ч. кусочков) с помощью трэя
- Режимы мультиконтактного экспонирования и настройки зазоров
- Прецизионный контроль контактного усилия в процессе клиновой компенсации – идеально для хрупких материалов
- Продувка зазора между маской и пластиной
- VideoView микроскоп раздельного/совмещенного поля
- Совмещение с большим зазором и режим пульсирующего экспонирования
- 350/500 Вт UltraSense источник питания с режимами постоянного питания или интенсивности
- Оптика для снижения дифракции
- Активный виброизоляционный стол
- Ось Z на воздушной подушке
- Система автоматического совмещения Q-Vision с распознаванием образов
- Система синтезации геометрических объектов Matrox
- Smart Align Technology – технология умного совмещения
Области применения:
- Микроэлектроника
- LED / HB LED
- 3D IC
- SIOP
- Корпусирование на уровне пластины
- MEMS
- BioMEMS
- Микрофлюидика
- Сложные полупроводники
- Солнечная энергетика (hcpv)
- Оптоэлектроника
Опции:
- Автоматическая очистка масок
- Считыватель бар-кода
- SECS / GEM интерфейс
- Оптическое совмещение по обратной стороне с функцией ИК совмещения
- Близкий, средний и глубокий УФ
- 500/100 кВт источник питания
- Нагреваемые держатели масок и пластин
Технические характеристики:
Методы экспонирования
- Мягкий контакт, контакт с давлением, вакуумный контакт, зазор
Разрешение
- Зазор 3 мкм при 20 мкм зазоре
- Мягкий контакт 2 мкм
- Жесткий контакт 1 мкм
- Вакуумный контакт 0,6 мкм
Точность совмещения (3 sigma) и производительность
- Режим первой маски Свыше 200 пластин/час
- Совмещение по верхней стороне (контакт) ±0,5 мкм Свыше 140 пластин/час
- Совмещение по верхней стороне (зазор) ±0,5 мкм Свыше 140 пластин/час
- Совмещение по нижней стороне (контакт) ±0,75 мкмь Свыше 120 пластин/час
- Совмещение по нижней стороне (зазор) ±0,75 мкм Свыше 120 пластин/час
Размер подложки/маски
- От 200х 200 мм, толщина 10 мм/76х76 до 230 мм х 230 мм – доступны адаптеры для шаблонов меньшего размера
Стол совмещения
- Моторизованное перемещение по XYTheta с автоматическим ре-центрированием
- Перемещение по XY ±4 мм, разрешение 100 нм
- Перемещение по Theta ±7,5°, разрешение 4х10-5
- Разделение маски и пластины 0-1000 мкм с разрешением 1 мкм
Диапазон перемещения микроскопа
- Левое перемещение по X -22 мм до кромки пластины
- *С объективом смещения -5,5 мм до кромки пластины
- Правое перемещение по X +22 мм до кромки пластины
- *С объективом смещения +5,5 мм до кромки пластины
- Левый и правый микроскоп по Y ±12.7 мм
- Расширенное перемещение
- микроскопа по Y +12,7 мм - -88 мм
- (для плоского раздельного совмещения пластин диаметром до 150 мм)
Верхние микроскопы:
- QuadCam микроскоп – стандарт на моделях с автозагрузкой пластин
- 5Х объектив скорректированный на бесконечность, опционально объективы 2Х, 7,5Х, 10Х и 20Х
Электроника
- Программирование и управление на базе ПК
- Контроль пневматики и сенсоров
- Ethernet контроль моторов
УФ оптика
- УФ корпус 350/500 Вт или 500/1000 Вт
- Оптика экспонирования 350-450 нм
- Опционально ближний УФ 280-350 нм
- Опционально средний УФ 280-450 нм
- Опционально дальний УФ220-280 нм
- Однородность ±3% на диаметре 150 мм
- ±4% на диаметре 200 мм
