Оглавление
- ИК конвейерные печи сушки серии HSG
- Конвейерные печи вжигания толстых пленок серии HSK
- Вакуумные печи серии HXV
- ИК конвейерные конвекционные печи оплавления серии HSF
- Камерные печи с конвекционным нагревом HXF
- Высокотемпературные конвейерные атмосферные печи серии HSA
- Трубчатые печи серии HGL
- Цилиндрические печи колокольного типа серии HZL
- Толкательные печи серии HT
- Высокотемпературные камерные печи серии HXL
- Низкотемпературные печи термического распада серии HSA
- Высокотемпературные печи термической кристаллизации
- Роликовые печи для сушки или обжига
- Сушильные печи с быстрым нагревом серии HSG
- Сушильные печи с быстрым нагревом серии HSH
- Системы травления и отмывки
- Линейка установок ручного нанесения покрытий
- Линейка установок нанесения покрытий
- Линейка установок для производства LTCC
- Линейка установок для производства толстоплёночных гибридных ИС
ИК конвейерные печи сушки серии HSG
Области применения: сушка и отверждение изделий (солнечные панели, функциональная керамика, солнечные элементы, толстые пленки, адгезивы).
Особенности: ИК или конвекционный нагрев, контроль и управление зон нагрева и охлаждения, высокая эффективность, ориентированность на энергосбережение и простота конструкции эксплуатации.
Опции: ПК управление, сенсорный экран, система УЗ очистки конвейерной ленты
Возможен дизайн и изготовление печей по специальному заказу Клиента
Конвейерные печи вжигания толстых пленок серии HSK
Области применения: Высокотемпературное спекание и термическая обработка толстопленочных подложек и ИС, безкорпусных резисторов, нагревателей, LTCC изделий, серебросодержащих выводов электронных компонентов, LED и в других областях.
Особенности: Керамические нагреватели, атмосферная система и рабочая камера были разработаны специально для толстопленочных технологий, контроль поддержания температуры и скорости конвейера, равномерность температуры, многоуровневое управление, простота эксплуатации и надежность, длительный срок службы.
Опции: ПК управление, сенсорный экран, система УЗ очистки конвейерной ленты, от 2 до 6 зон контроля, расходометр, устройство записи температурных профилей.
Области применения: Сушка толстопленочных, гибридных интегральных схем в вакууме перед процессам герметизации, более всего подходит для изготовления изделий, к которым предъявляются высокие требования к влажности; сушка полупроводниковых и электронных компонентов подсушенным воздухом; вакуумная сушка токопроводящего клея; вакуумное спекание клея на магнитных материалах, высокотемпературное спекание.
Особенности: Быстрая сушка; точный контроль температуры; возможность одновременного программирования температуры, уровня вакуума и времени.
Опции: Система контроля, вакуумные помпы.
Области применения: Поверхностный монтаж модулей, чипов, микросборок, печатных плат и силовых устройств.
Особенности: Несколько режимов нагрева, ИК или конвекционный нагрев, высокая эффективность, позволяет выполнять оплавление SMT компонентов с высокой плотностью и высокой теплоемкостью, равномерный контроль температуры, простота конструкции и надежность.
Опции: ПК управление, сенсорный экран, устройство записи температурных профилей.
Области применения: Отверждение, отжиг и сушка конструкционной керамики, функциональной керамики, электронных компонентов, полупроводниковых корпусов и других электронных компонентов в атмосфере азота и воздуха.
Особенности: Для печей, которые используют азот, содержание кислорода составляет менее 10 ч./млн, обеспечение класса чистоты до ISO 5, продув горячим воздухом, точность и равномерность температуры ±3°C, оптимизированное энергопотребление.
Опции: ПК управление, сенсорный экран, расходомер, функция проверки температурных профилей.
Области применения: Высокотемпературный обжиг, окисление, высокотемпературная пайка, отжиг и термическая обработка корпусов, разъемов для авиационной техники, герметичных реле, DBC, медных паст MLCC, пьезоэлектрической медной пасты и т.д.
Особенности: Контроль поддержания равномерной температуры, точный контроль объема кислорода, низкое потребление газа, высокая однородность атмосферы, плавный и прочный привод конвейера, высокая эффективность и оптимизированное энергопотребление, специальная система поглощения шума, простота в эксплуатации, безопасность и надежность, длительный срок службы. Отвечает технологическим требованиям для корпусирования, депарафинизации, окисления, герметизации, высокотемпературной пайки, подходят для серийного производства компрессорных терминалов, крышек аккумуляторных батарей, DBC и т. д.
Опции: ПК управление, сенсорный экран, система УЗ очистки конвейерной ленты, расходомер, устройство записи температурных профилей.
Области применения: Групповая обработка и производство корпусов, окисление, герметизация, отжиг и высокотемпературная пайка.
Особенности: Контроль поддержания равномерной температуры, контроль объема кислорода, низкое потребление газа, простота в эксплуатации.
Опции: ПК управление, сенсорный экран, расходомер, устройство записи температурных профилей.
Области применения: Обжиг магнитных материалов, СВЧ-ферритов, высокотехнологичной керамики, электронных компонентов, HTCC и т.д.
Особенности: Улучшенная камера из керамического волокна, настройка и поддержание атмосферы, несколько зон, простая загрузка и выгрузка, оптимизированное энергопотребление, равномерность поддержания температуры ±3°C, длительный срок службы.
Опции: ПК управление, сенсорный экран, расходомер, устройство записи температурных профилей.
Области применения: Выжигание связующего вещества, отжиг и спекание пьезоэлектрических материалов, чувствительных к давлению датчиков, фильтров, технической керамики, диоксидциркониевой керамики и электронных компонентов.
Особенности:
- Количество и длина зон определяются в соответствии с техническими требованиями Заказчика;
- Пропорциональный регулятор верхнего и нижнего нагрева, высокая производительность и оптимизированное энергопотребление, точный контроль температуры;
- Рабочая камера и атмосферная система изготавливаются в соответствии с техническими требованиями Заказчика;
- Надежная и удобная система привода, возможность установки гидравлического или механического привода.
Опции: ПК управление, сенсорный экран, расходомер, устройство записи температурных профилей.
Области применения: Вакуумное напыление CIGS (диселенид галлия-индия-меди), устройств фотовольтаики, графена и других материалов.
Особенности:
- 3 варианта дизайна камеры: испарительная камера из твердотельного селена, камера с серосодержащим источником испарения, реакционная камера с пленкой ионизации и вакуумного осаждения;
- Используется дополнительная тепловая изоляция между каждой камерой, для удаления конденсата паров селена и серы;
- В реакционной камере используется муфельная структура, выполненная из SUS316L для улучшения герметизации;
- Нагревательные плиты из нержавеющей стали, установленные в верхней и нижней частях реакционной камеры, обеспечивают быстрый нагрев и охлаждение, а также хорошую герметичность вакуума.
Опции: ПК управление, сенсорный экран, расходомер.
Области применения: Низкотемпературное термическое разложение сверхпроводящих материалов в атмосфере воздуха, воды и смешанных средах.
Особенности: Трехуровневая муфельная структура обеспечивает равномерность температуры и точный контроль атмосферы. Камера печи может иметь модульную структуру.
Опции: ПК управление, сенсорный экран, расходомер, устройство записи температурных профилей.
Области применения: Специальная обработка сверхпроводящих материалов.
Особенности: Компьютерная система управления, управление намоткой и размоткой, регулирование давления, контроль вакуума и т. д. Уровень вакуума в этой системе может достигать 5 Па. Используется механическая помпа и вакуумная помпа Рутса с комплексом воздухоотводов, рабочее давление в камере регулируется: 50-200 Па., максимальная температура +1000 °C, разработана для специальной обработки сверхпроводящих материалов.
Области применения: Выжигание связующего вещества, предварительный обжиг, обжиг и отжиг пьезоэлектрических, чувствительных к давлению, резисторов с положительным и отрицательным ТКС, фильтров, кремния, материалов из диоксидциркониевой керамики и электронных компонентов.
Особенности:
- Экономия площади, оптимизированное энергопотребление, повышение эффективности работы;
- Компьютерная система управления собственной разработки, однозонная многоточечная пропорциональная регулировка температуры, равномерность температуры ± 3 ° C;
- Направляющее устройство;
- Запатентованная система нагрева.
Области применения: Быстрая сушка кремниевых подложек, DSSC (сенсибилизированный красителем солнечный элемент) и других тонкопленочных субстратов солнечных элементов.
Особенности: Инфракрасные лампы, быстрый нагрев, высокая производительность, возможность настройки длины зоны, скорости конвейера, атмосферы в камере и вытяжки, управление точностью температуры и скоростью конвейера.
Опции: ПК управление, сенсорный экран, система УЗ очистки конвейерной ленты, устройство записи температурных профилей
Особенности: Инфракрасные лампы, контролируемая скорость нагрева и охлаждения, точный контроль температуры, оптимальный температурный профиль для оплавления пасты для солнечных батарей, специальная конструкция камеры позволяет избежать дефектов кремниевой пластины, равномерный нагрев всех ламп управление точностью температуры и скоростью конвейера. Простота в эксплуатации, надежность и минимизация издержек.
Области применения: Используется для травления, отмывки и других процессов мокрой химической обработки, применяемых для светодиодов, интегральных микросхем и полупроводниковых подложек из различных материалов в процессе их производства.
Производственные режимы: Ручной, полуавтоматический, автоматический режимы.
Дополнительные модули: Интегрированная система очистки использованной воды, специальный задерживающий механизм, встроенный циркуляционный фильтр для входных лотков.
Особенности:
Области применения: Используются при обработке поверхности, производстве полупроводников, новых материалов и т.д. для нанесения гальванопокрытия в барабане, покрытия деталей на подвесках, металлизации при механическом колебании.
Процессы и расположение: Все процессы выполняются в соответствии с техническими требованиями заказчика. Есть 3 варианта расположения системы "I" "L" и "U".
Дополнительные модули: Интегрированная система очистки использованной воды, интегрированная система вытяжки отработанных газов, механизм восстановления металлов, система для повторного использования воды «отсутствие сброса», система анализа растворов, помпа Flo-King.
Особенности:
- Каждый технологический блок имеет модульную конструкцию
- Простота обслуживания и эксплуатации
- Панели управления находятся в легкодоступном для оператора месте. Системы контроля высокого и низкого напряжения разрабатываются отдельно для каждой поставляемой линии
- Система мониторинга утечки раствора
- Аккуратный внешний вид
Области применения: В основном используется в производстве электроники, промышленности, новых материалах и других изделий, требующих высокой точности, в мелкомасштабных процессах мокрой химической обработки, таких как гальваническое осаждение, гальванопластика, нанесение покрытия химическим методом, термическое оксидирование, травление и очистка и т.д.
Производственные режимы: Ручной, полуавтоматический, автоматический режимы.
Стандартная система: 2000х1200х1900мм, 1500х200х900мм. 1200х1200х1900мм (ДШВ), система конфигурируется в соответствии с техническими требованиями Заказчика.
Дополнительные модули: Интегрированная система очистки использованной воды, интегрированная система вытяжки отработанных газов, механизм восстановления металлов, система для повторного использования воды «отсутствие сброса», специальный задерживающий механизм, встроенный циркуляционный фильтр для входных лотков.
Особенности:
Области применения: Может использоваться как в качестве основного, так и в качестве вспомогательного оборудования для процесса LTCC. Можно заказать линию целиком или отдельные автоматические модули.
Особенности: Линейка конфигурируется в соответствии с техническими требованиями Заказчика.
Области применения: Полная линейка оборудования, включая программное обеспечение для системного управления и контроля процессов ультразвуковой очистки, автоматической лазерной маркировки, загрузки, трафаретной печати, сушки, спекания, дозирования и монтажа для процесса производства толстоплёночных гибридных ИС.
Особенности: Большой опыт разработки подобных линий, улучшенная производительность и контроль процессов.
