|
Наименование параметра | Значение |
| Диапазон измерений | ±30g |
| Разрешение | <2мg |
| Спектральная плотность шума | 225 μg/√Гц |
| Частота измерений | 1-120 Гц |
| Напряжение питания | 5 В |
| Нелинейность | <1% |
| Рабочая температура | -40 … +85 °С |
Высокоточные МЭМС-акселерометры ±30 g изготавливаются по технологии глубокого реактивного ионного травления. Эта технология обеспечивает получение структур с высоким аспектным разрешением (соотношением высоты структурных элементов к ширине), что, в свою очередь, обеспечивает высокую точность и линейность измерений.
Некоторые возможные сферы применения высокоточных акселерометров:
- промышленная электроника;
- авиация;
- космос;
- автомобилестроение;
- судостроение;
- нефтегазовая отрасль;
- медицина;
- железнодорожный транспорт;
- медицина;
- энергетика.
